Микромеханические приборы : Приборы первич. информ. : Учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по машиностроит. специальностям
Распопов, Владимир Яковлевич
2002
28 с.
Рассмотрены особенности рынка микромеханических приборов и приведены технические характеристики приборов, выпускаемых иностранными фирмами и отечественными разработчиками.