Конструкторско-технологические возможности повышения качества пленочных элементов : Учеб. пособие для вузов по направлению "Проектирование и технология электрон. средств" (№ 551100) и специальности "Проектирование и технология радиоэлектрон. средств" (№ 6543)Ермолаев, Юрий Петрович200120 с.