Моделирование элементов интегральных схем : Курс лекций : Учеб. пособие по дисциплине "Моделирование технол. процессов и элементов интегр. схем" для студентов специальности Т.07.01 - "Микроэлектроника"Абрамов, Игорь Иванович199920 с.