|
Книга ID: 3931
Атмоные ступени на поверхности кремния в процессах сублимации, эпитаксии и фазовых переходов : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 Ин-т физики полупроводников
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Новосибирск 1998 32 с.
Язык:
rus
|
|