Микроэлектронные датчики. Проектирование, изготовление, диагностика : Учеб. пособие для студентов, обучающихся по направлению 651900 "Автоматизация и упр.", специальности 21.08.00 "Автоном. информац. и управляющие системы", по направлению 652800 "Оружие и системы вооружения", специальности 21.09.00 "Взрыватели и системы упр. средствами поражения"
Михайлов, Петр Григорьевич
2001
20 с.