|
Книга ID: 38923
Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.13 Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни
Тематика, ключевые слова:
Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий.
Сведения об издании:
Ташкент 1989 22 с.
Язык:
rus
|
|