Кинетика взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и смесей хлор-аргон с медью и излучение разряда : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04 Ивановская хим.-технол. академия. Ефремов, Александр Михайлович. Иваново 1994. купить

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Ефремов, Александр Михайлович
	Книга ID: 36595 Кинетика взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и смесей хлор-аргон с медью и излучение разряда : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04 Ивановская хим.-технол. академия Тематика, ключевые слова: Микроэлектроника -- Технология изготовления -- Плазменная обработка деталей -- Теория, исследования. Физическая химия. Сведения об издании: Иваново 1994 16 с. Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]