|
Книга ID: 35030
Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.14 МГТУ им. Н. Э. Баумана
Тематика, ключевые слова:
Теплофизика и молекулярная физика.
Сведения об издании:
Москва 1996 15 с.
Язык:
rus
|
|