|
Книга ID: 34989
Исследование физических механизмов электронно-лучевой литографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 МГУ им. М. В. Ломоносова
Тематика, ключевые слова:
Физическая электроника.
Сведения об издании:
Черноголовка 1988 12 с.
Язык:
rus
|
|