|
Книга ID: 34825
Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 Моск. ин-т стали и сплавов
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 1992 36 с.
Язык:
rus
|
|