|
Книга ID: 34660
Исследование твердофазной эпитаксии легированных пленок кремния в условиях сверхвысокого вакуума : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Горький 1988 20 с.
Язык:
rus
|
|