|
Книга ID: 34526
Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02 Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова
Тематика, ключевые слова:
Вакуумная и плазменная электроника.
Сведения об издании:
Ленинград 1989 14 с.
Язык:
rus
|
|