|
Книга ID: 34471
Исследование технологических потерь БИС с применением электрических тестовых структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 НИИ физических проблем им. Ф. В. Лукина
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1993 24 с.
Язык:
rus
|
|