|
Книга ID: 33913
Исследование субмикронных рельефных прямоугольных структур методом растровой электронной микроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Ин-т общей физики
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Москва 1994 23 с.
Язык:
rus
|
|