|
Книга ID: 33659
Исследование структурных несовершенств и примесных неоднородностей в полупроводниковых материалах методом электродного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 Моск. ин-т тонкой хим. технологии
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 1990 14 с.
Язык:
rus
|
|