|
Книга ID: 32614
Исследование реактивного ионного травления как метода создания элементов оптоэлектронных устройств : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1993 18 с.
Язык:
rus
|
|