|
Книга ID: 32114
Исследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокимидозами углерода с помощью ИК-спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1995 24 с.
Язык:
rus
|
|