|
Книга ID: 32031
Исследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом ожеэлектронной спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Саратовский ин-т радиотехники и электроники
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Саратов 1996 14 с.
Язык:
rus
|
|