Исследование процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 С.-Петербург. гос. техн. ун-т. Ковалгин, Алексей Юрьевич. Санкт-Петербург 1995. купить

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Ковалгин, Алексей Юрьевич
	Книга ID: 31898 Исследование процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 С.-Петербург. гос. техн. ун-т Тематика, ключевые слова: Технология полупроводников и материалов электронной техники. Сведения об издании: Санкт-Петербург 1995 16 с. Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]