|
Книга ID: 31647
Исследование процесса магнетронного распыления с целью получения сверхпроводниковых покрытий : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02 Ленингр. электротехн. ин-т
Тематика, ключевые слова:
Вакуумная и плазменная электроника.
Сведения об издании:
Ленинград 1991 13 с.
Язык:
rus
|
|