|
Книга ID: 31630
Исследование процесса магнетронного напыления сверхпроводниковых пленок NЬN для СВЧ устройств : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02 Ленингр. электротехн. ин-т
Тематика, ключевые слова:
Вакуумная и плазменная электроника.
Сведения об издании:
Ленинград 1991 12 с.
Язык:
rus
|
|