|
Книга ID: 3144
Атомные процессы на поверхности кремния при адсорбции атомов для типов и формирование поверхностных фаз : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.07 Ин-т автоматики и процессов управления
Тематика, ключевые слова:
Физика твердого тела.
Сведения об издании:
Владивосток 1995
30 с.
Язык:
rus
Аннотация:
Рассмотрение атомных процессов на поверхности кремния при адсорбции атомов для типов и формирование поверхностных фаз - это объект исследования автореферата диссертации доктора физико-математических наук Александровича. В данной работе анализируются явления, происходящие на поверхности кремния после адсорбции атомов, что может иметь важные последствия для создания новых материалов и технологий в области микроэлектроники и纳но-технологий.
|
|
