|
Книга ID: 31400
Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21 Ин-т общей физики
Тематика, ключевые слова:
Лазерная физика.
Сведения об издании:
Москва 1995 23 с.
Язык:
rus
|
|