|
Книга ID: 31312
Исследование паразитных деформационных эффектов, возникающих в производстве и эксплуатации пленочных элементов интегральных устройств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.12.13, 05.27.01 Гос. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1996 32 с.
Язык:
rus
|
|