|
Книга ID: 31053
Изучение переноса атомов мишени при имплантации и ионном перемешивании методом моделирования на ЭВМ : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 Ин-т электроники АН УзССР им. У. А. Арифова
Тематика, ключевые слова:
Физическая электроника.
Сведения об издании:
Ташкент 1989 18 с.
Язык:
rus
|
|