Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 Рос. академия наук. Васильев, Андрей Георгиевич. Москва 1995. купить

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Васильев, Андрей Георгиевич
	Книга ID: 30731 Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 Рос. академия наук Тематика, ключевые слова: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника. Сведения об издании: Москва 1995 35 с. Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]