Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. Борзенко, Татьяна Борисовна. Черноголовка 1996. купить

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Борзенко, Татьяна Борисовна
	Книга ID: 30519 Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН Тематика, ключевые слова: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника. Сведения об издании: Черноголовка 1996 20 с. Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]