|
Книга ID: 3011374
ВЧ-плазменная модификация поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий И. Р. Сагбиев ; Федеральное агентство по образованию, Гос. образовательное учреждение высш. проф. образования "Казанский гос. технологический ун-т"
Тематика, ключевые слова:
Техника и технические науки (в целом) -- Общая технология. Основы промышленного производства -- Отделка поверхности -- Нанесение покрытий -- Теоретические основы. Исследования.
Энергетика -- Электроэнергетика -- Электроизолирующие материалы и изделия -- Технология получения -- Исследования.
плазменная обработка тонкоплёночных покрытий.
Сведения об издании:
Казань КГТУ 2007
27, [1] с. 20 см
Язык:
rus
|
|
