|
Книга ID: 300963
Материаловедческие аспекты разработки материалов для толстопленочных ГИС на металлодиэлектрических подложках : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 Моск. гос. ин-т электронной техники
Тематика, ключевые слова:
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 2001 26 с.
Язык:
rus
|
|