|
Книга ID: 2938762
Разработка автоматизированного элионного технологического оборудования для производства изделий микрофотоэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Тематика, ключевые слова:
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 2007 132 с.
Язык:
rus
|
|