|
Книга ID: 2938112
Устройства со скрещенными электрическим и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02
Тематика, ключевые слова:
Вакуумная и плазменная электроника.
Сведения об издании:
Томск 2007 212 с.
Язык:
rus
|
|