|
Книга ID: 29288
Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11 Северо-Западный заочный политехнический ин-т
Тематика, ключевые слова:
Методы контроля и диагностика в машиностроении.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1995 20 с.
Язык:
rus
|
|