|
Книга ID: 29120
Исследование количественного состава и свойств ионно-имплантированных слоев Si, GaAs и сплава Pd-Ba методами вторичной электронной спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 Моск. физ.-техн. наук
Тематика, ключевые слова:
Физическая электроника.
Сведения об издании:
Москва 1990 18 с.
Язык:
rus
|
|