|
Книга ID: 288637
Основы формально-эвристического проектирования вакуумного оборудования электронной техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
Тематика, ключевые слова:
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 2001 435 с.
Язык:
rus
|
|