|
Книга ID: 28711
Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 Ин-т микроэлектроники. Рос. академия наук
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1995 35 с.
Язык:
rus
|
|