|
Книга ID: 285408
Исследование и разработка конструкции и технологии КНИ - элементов интегральных микросистем на основе рекристаллизованного поликремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 Моск. гос. ин-т электронной техники
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах.
Сведения об издании:
Москва 1999 26 с.
Язык:
rus
|
|