|
Книга ID: 28354
Исследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 Научно-производственное об-ние "Физика"
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Москва 1997 28 с.
Язык:
rus
|
|