|
Книга ID: 28210
Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 Моск. ин-т электронной техники
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1997 22 с.
Язык:
rus
|
|