|
Книга ID: 2819986
Пленочные структуры оксидов переходных металлов: технология, контроль, оборудование : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 Шаповалов Виктор Иванович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)]
Тематика, ключевые слова:
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 2008 32 с.
Язык:
rus
|
|