|
Книга ID: 27959
Исследование и разработка методов магнитного управления процессом осаждения покрытий из плазмы вакуумно-дугового разряда : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02
Тематика, ключевые слова:
Вакуумная и плазменная электроника.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1995 16 с.
Язык:
rus
|
|