|
Книга ID: 2767563
Вакуумно-плазменные процессы и технологии : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники" А. М. Ефремов, В. И. Светцов, В. В. Рыбкин ; Федеральное агентство по образованию Российской Федерации, Гос. образовательное учреждение высш. проф. образования Ивановский гос. химико-технологический ун-т
Тематика, ключевые слова:
Техника и технические науки (в целом) -- Общая технология. Основы промышленного производства -- Плазменная обработка -- Учебник для высшей школы.
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Электрическая и электронная обработка. Травление -- Учебник для высшей школы.
плазменное травление материалов.
Сведения об издании:
Иваново Ивановский гос. химико-технологический ун-т 2006
260 с. 21 см
Язык:
rus
|
|
