|
Книга ID: 27499
Исследование и оптимизирование процессов плазменного травления в низкочастотном разряде : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 Ин-т автоматики и электрометрии. Сиб. отд-ние АН СССР
Тематика, ключевые слова:
Физическая электроника.
Сведения об издании:
Новосибирск 1988 21 с.
Язык:
rus
|
|