|
Книга ID: 27401
Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04 НИИ электронной и ионной оптики
Тематика, ключевые слова:
Физическая электроника.
Сведения об издании:
Москва 1997 55 с.
Язык:
rus
|
|