|
Книга ID: 2707257
Разработка автоматизированного элионного технологического оборудования для производства изделий микрофотоэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 Козлов Александр Николаевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики]
Тематика, ключевые слова:
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Фотоэлектронные приборы. Фотоэлектроника -- Технология производства -- Электрическая, электронная, ионно-лучевая обработка -- Оборудование -- Автоматизация.
Сведения об издании:
Москва 2007
22 с.
Язык:
rus
|
|
