|
Книга ID: 27017
Исследование закономерностей роста буферных слоев и способы улучшения качества тонких пленок арсенида галлия на кремнии при молекулярно-лучевой эпитаксии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Физ.-технол. ин-т
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1994 20 с.
Язык:
rus
|
|