|
Книга ID: 2700936
Устройства со скрещенными электрическим и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02 Ин-т сильноточ. электроники
Тематика, ключевые слова:
Вакуумная и плазменная электроника.
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий.
тонкопленочные покрытия.
Сведения об издании:
Томск 2007
21 с.
Язык:
rus
|
|
