|
Книга ID: 264693
Исследование и разработка конструкции и технологии КНИ-элементов интегральных микросистем на основе рекристаллизованного поликремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1999 221 с.
Язык:
rus
|
|