|
Книга ID: 261810
Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 Таганрогский гос. радиотехнич. ун-т
Сведения об издании:
Таганрог 1998 36 с.
Язык:
rus
|
|