|
Книга ID: 26173
Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Моск. энергетический ин-т
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Москва 1997 20 с.
Язык:
rus
|
|