|
Книга ID: 2603245
Технология материалов электронной техники : процессы химического осаждения из газовой фазы : учебное пособие С. Е. Александров ; Федеральное агентство по образованию, Санкт-Петербургский гос. политехнический ун-т
Тематика, ключевые слова:
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Технология производства -- Учебник для высшей школы.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург Изд-во Политехнического ун-та 2005 СПб. Тип. изд-ва Политехнического ун-та
92 с. 21 см
Язык:
rus
|
|
